光刻機(jī)巨頭ASML：沒(méi)有向中國(guó)市場(chǎng)推出特別版光刻機(jī)

【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】

7月6日，針對(duì)“將向中國(guó)推出特供版DUV光刻機(jī)”的傳言，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML向觀察者網(wǎng)回應(yīng)表示，“一直以來(lái)ASML都遵守所適用的法律條例，我們并沒(méi)有面向中國(guó)市場(chǎng)推出特別版的光刻機(jī)”。

一周前，荷蘭政府正式宣布限制某些先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口的新規(guī)，這些規(guī)定將于9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進(jìn)芯片制造設(shè)備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點(diǎn)名會(huì)受到限制的公司，但外界都明白這是在針對(duì)當(dāng)?shù)刈畛雒陌雽?dǎo)體設(shè)備公司ASML。

彼時(shí)，ASML回應(yīng)觀察者網(wǎng)表示，根據(jù)新出口管制條例規(guī)定，該公司需要向荷蘭政府申請(qǐng)出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)（即TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證，并將向ASML提供許可證所附條件的細(xì)節(jié)。

ASML在聲明中重點(diǎn)指出，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統(tǒng)在此前已經(jīng)受到限制，其他系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)暫未受荷蘭政府管控。

ASML受出口管制的光刻機(jī)型號(hào)

在荷蘭政府宣布新的半導(dǎo)體出口管制條例后，中國(guó)駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應(yīng)：荷蘭政府正式出臺(tái)半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口管制措施，這是對(duì)出口管制措施的濫用，是對(duì)自由貿(mào)易和國(guó)際經(jīng)貿(mào)規(guī)則的嚴(yán)重背離，中方對(duì)此堅(jiān)決反對(duì)。

“我們呼吁荷方從維護(hù)國(guó)際經(jīng)貿(mào)規(guī)則及中荷經(jīng)貿(mào)合作大局出發(fā)，立即糾正錯(cuò)誤做法。中方將堅(jiān)決維護(hù)自身合法權(quán)益。同時(shí)，也愿與荷方一道，本著互利互惠的原則，共同探討解決方案，共同推動(dòng)中荷經(jīng)貿(mào)關(guān)系健康發(fā)展?！敝袊?guó)駐荷蘭大使館發(fā)言人表示。

ASML方面也早就對(duì)出口管制做出過(guò)警示。今年2月，在接受歐洲媒體采訪時(shí)，ASML首席執(zhí)行官溫彼得直言，如果美國(guó)及其盟友切斷中國(guó)（大陸）獲得某些半導(dǎo)體和半導(dǎo)體制造技術(shù)的渠道，中國(guó)將被迫加倍努力開(kāi)發(fā)自主技術(shù)。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應(yīng)該被濫用，決策者在“擺弄”半導(dǎo)體供應(yīng)鏈之前應(yīng)充分了解它的復(fù)雜性。

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